在集成电路制造业，低温等离子体的运用几乎贯穿整个流程。刻蚀的步骤需要低温等离子体的参加才能有效的去除光刻胶，即使在电路制造完成后，整板的清洗和封装过程中也会使用到低温等离子体，用于芯片封装前的清洗。下面就简单介绍一下等离子清洗和等离子刻蚀技术...
2023-08-25
等离子体清洗可以通过提高表面能来激活铜表面，在高频电磁场作用下，氢气分子经过辉光放电方式，生成氢等离子体、电子、各种氢离子、氢原子等。其中，氢原子与铜表面的氧化物发生还原反应，去除氧化层并激活铜表面。...
2023-08-25
从以上实验结果可以分析出，PET材料经过等离子表面处理后的一两个小时效果都是比较好的，随着时间的推移，等离子处理效果逐渐减退。...
2023-08-25
等离子清洗机可以用来灭菌吗？答案是等离子清洗机由有一定的灭菌作用，这是因为低压气体辉光放电时能够产生大量高能带电粒子，轰击微生物表面，同时会释放出紫外线破坏蛋白质及核酸结构达到灭菌作用。...
2023-08-24
等离子清洗机可以直接通氢气吗？答案是可以的，氢气放电会产生氢离子，利用氢离子的还原反应，可以与基片表面的氧化污染物发生氧化还原反应生成气态的水分子。...
2023-08-24
等离子清洁去污包含着物理轰击与化学反应双重作用过程，通过化学或物理作用对工件表面进行处理，可以实现分子水平的污染物去除，从而提高工件表面活性。...
2023-08-22
等离子体处理石墨烯材料的可以促进边缘、空隙、扭曲和掺杂物的形成，使石墨烯材料具有更理想的特性，且不需要使用有毒试剂，处理时间短，成本低。等离子体通过剥离、刻蚀、掺杂等提高石墨烯材料性能。...
2023-08-22
综合不同材料的各种表面处理方法和研究结果来看，不同的表面处理方法对不同材料的粘接性能有所不同，为提高材料的粘接强度，应选取适合自身特性的表面处理方法。...
2023-08-21
NH3反应性气体的低温等离子体由于含有N、N+、N、Nm(亚稳态)、N*、N2*等活性离子，它们可与材料表面形成自由基或不饱和基反应，从而结合到大分子链上改变材料表面的化学组分。NH3低温等离子体处理材料表面，可以在材料表面引入了氨基-NH2官能团。...
2023-08-21
溶胶-凝胶法制作薄膜旋涂前对衬底进行一定合适时间的等离子清洗，一方面能够去除衬底表面的污渍，另一方面可以加强衬底的浸水性，提高液体在衬底表面的附着力。...
2023-08-21
低温等离子体处理技术（以下简称等离子体）对高分子材料表面的处理通常是利用Ar、O2、N2、空气等气体经低压辉光放电产生激发态的原子、分子、自由基和离子等作用于材料表面。...
2023-08-18
等离子清洗的最大的优点是不分材料类型均可进行处理，对 氧化物、金属、有机物、陶瓷、大多数高分子材料、半导体材料等也能进行很好的处理，只需很小的气体流量就可实现整体和局部的清洗。...
2023-08-18
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