答：等离子清洗是否会产生臭氧跟通入的气体有关，只有当氧气存在的情况下才会产生臭氧，这就分为两种情况，当使用氧气作为工艺气体时会产生臭氧，当使用空气作为工艺气体时也会产生臭氧。...
2023-09-12
干法刻蚀技术是利用等离子体刻蚀薄膜，主要通过物理和化学蚀刻达到刻蚀目的。目前，干法蚀刻技术有：反应离子刻蚀（RIE）、电子回旋共振等离子体刻蚀（ECR）和感应耦合等离子体（ICP）刻蚀。...
2023-09-12
在对有机材料的表面改性工艺中,低温等离子体在不改变材料基底特性的前提下,通过改变材料的表面层微结构、表面层物理性质以及表面层化学特性,在高性能材料、复合材料和医用材料等研究领域提供了新的解决方一案。...
2023-09-11
气体放电产生的低温等离子体中除了拥有大量的正负粒子之外，还有受激发的原子等高能粒子，这些高能粒子可以促使物质发生变化，进行化学反应，改变物质属性，以下分别讲述了等离子体在当前工程应用中的三大主流技术：等离子刻蚀技术、等离子清洗技术以及等离子表面改性技术。...
2023-09-07
等离子清洗是在微观分子、原子和离子层的反应，清洗后的效果好坏很难通过肉眼来判别，因此清洗效果的判断一般是通过贴片后键合强度的提高或者是使用专用的测试设备对清洗效果检查的。...
2023-09-06
氧等离子清洗机和等离子清洗机其实并没有太大的区别，氧等离子清洗机可以理解为通入氧气作为工艺气体的等离子清洗机，一般的氧等离子清洗机，只有一路工艺气体通道（国外的设备比较常见），一路气体通道一般为氧气，所以就被叫做氧等离子清洗机。...
2023-09-05
工业生产中常用的等离子体主要由气体放电产生，其中应用较为广泛的等离子体源有：单频／双频容性耦合等离子体源、感性耦合等离子体源等。...
2023-09-04
石英玻璃反应仓的选择，取决于等离子清洗的应用及样品材质，很多客户采用的是不锈钢反应腔体来处理材料，他们对于清洗样品表面没有任何问题，如果客户在等离子体处理时，需要洁净的环境，或者清洗光学元件的时候，建议采用石英玻璃反应腔体...
2023-08-31
在使用等离子清洗机的过程中，腔体的洁度也会影响等离子清洗的效果造成影响，所以及时对玻璃腔体进行清洁，可以有效提高等离子清洗的效果。...
2023-08-31
射频放电等离子体一般有两种不同的激发方式，分别为电感耦合和电容耦合，其可在低气压下产生高密度的等离子体。射频等离子体中的电子能量通常可达几个eV甚至更高，可以借助电子的高活性促进反应的进行，且不会对材料本底造成破坏，因此被广泛应用于材料表面改性等领域。...
2023-08-30
目前，在电催化材料的表面改性方面低温等离子体技术扮演着很重要的角色，例如，低温等离子体作用到催化材料表面后，可以增强电子在金属与半导体之间的传递效率。...
2023-08-28
等离子体表面改性是物理、化学以及光化学各种因素共同作用的结果。氨等离子是一种有效的生物材料表面处理技术,能够极大地改善成骨细胞在聚乳酸表面的相容性。...
2023-08-28
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