在线式真空等离子清洗机

产品型号：NE-OPE-01F
性能特点：在线清洗，可与上线游产线对接
产品用途：材料表面活化、清洗

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产品介绍
产品参数

等离子清洗主要通过活性等离子体对材料表面进行物理轰击或化学反应等单一或双重作用，从而实现材料表面分子水平的污染物去除或改性，能够有效去除材料表面的有机残留、微颗粒污染、氧化薄层等，提高工件表面活性，避免键合分层或虚焊等情况。

在线式真空等离子清洗机产品介绍：

在线式真空等离子清洗机从上料、清洗到下料整个过程是一个全自动化的过程，系统采用全自动运行方式，可与上下游生产工序连线，设备采用PLC模块控制，其主要部件如图1所示：包括反应仓体,射频等离子产生系统,真空系统,上、下料传动系统,气路系统,控制系统,警报系统等。
在线式真空等离子清洗机结构示意图

图一在线式真空等离子清洗机结构示意图

在线式真空等离子清洗机工作流程：

在线式真空等离子清洗一个周期的过程如图2所示,当点击开始按钮后,放置好的产品将运送至机械手取料区域,机械手臂上装有一定位传感器,自动识别物料的位置,并从中抽取处物料放置在装料平台上,装满后,装料平台运行至反应仓上部主体下闭合。抽真空开始,当反应仓体内压力降至左右时,气体控制阀打开,注入工艺气体,气体均匀充满仓体后,射频电源开启,放电产生射频等离子体,等离子体作用于物体表面污物,清洗完成后,射频电源自动关闭。此时真空泵关闭,仓体内压强逐渐回升,达到平衡状态。随后反应仓闭合机构下降，使装料台与反应仓分开，装料平台下移运送至卸料处。与此同时,另一块装料台开始工作。
在线式真空等离子清洗机工作流程

在线式真空等离子清洗机工作流程

在线式真空等离子清洗机与常规等离子清洗机相比有如下优势：

在线式真空等离子清洗机上下料过程采用全自动机械执行。标准等离子清洗机物料在反应仓的出入搬运工作需要人工完成，每台等离子清洗机需要配备一名操作工人进行相应控制。在线式真空等离子清洗机的上下料台可以通过自动搬运单元与整个生产线的上下游设备的进出口进行无缝连接，从而达到完全屏蔽人工介入的自动化清洗设备要求。

在线式等离子清洗机清洗效果更好，它具有高的生产效率，优良的均匀性和一致性，由于清洗过程无人为干预，可以避免人为操作导致的二次污染。

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在线式真空等离子清洗机

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