2L中频等离子清洗机

小型真空等离子清洗机具有清洁、灰化、刻蚀等功能，可用来清洁纳米级样品，去除光刻胶，清洁晶圆和集成电路键合焊盘，进行煤和有机物的灰化，激活聚合物、金属和陶瓷表面官能团，获得表面亲水性，提高键合强度和可印刷性，促进医疗器械生物相容性。
 

小型真空等离子清洗机产品优势：
 

　●小型等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广。

　●直观的触摸屏用户界面，可储存多条用户程序，全自动运行

　●8K 镜面不锈钢腔体，卓越密封性

　●支持各种工艺气体，包括氩气，氧，氢，氦和氟化气体

　●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求。

　●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理。

　●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证。

　●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗。

　●由于功耗低且无需特殊处理气体，该装置是提高表面润湿性和附着力的非常经济高效的解决方案。
 

小型真空等离子清洗机用途：
 

　●高分子材料表面改性粘合性、亲水性能提高。

　●晶圆光刻胶灰化、剥离和除渣。硅晶片的有机污染物去除

　●用于 PDMS 键合、载玻片、芯片实验室和其他微流体应用的等离子处理

　●材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。

　●材料表面有机污染物去除。

　●清洁TEM和SEM样品，去除烃污染

　●增强环氧树脂/胶水粘合强度

　●用于清洁光学、激光、通讯用玻璃和光纤头

　●改善MEMS微流体器件的润湿性

　●隐形眼镜、医用植入物等类型医疗器械的表面处理和激活