小型微波等离子清洗机NE-MW05

产品型号：NE-MW05
性能特点：无电极污染，无损伤清洗
产品用途：去胶，清洗

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产品介绍
产品参数

小型微波等离子清洗机是一种高效的表面清洁改性设备。它利用微波激发等离子体，对材料表面进行清洗，其清洗过程快速且效果显著，能有效去除材料表面的有机物、氧化物等杂质，提高表面亲水性和粘附性。

微波放电是将微波能量转换为气体分子的内能,使之激发、电离以至产生等离子体的一种气体放电形式。采用微波放电时,微波源产生的微波通过波导传输到真空腔体内,通过模式耦合,将能量传给放电气体。气体中存在的少量电子被微波电场加速后与气体分子发生非弹性碰撞并使气体电离,在微波输出功率比较适当的条件下,使气体击穿实现持续放电,由此而产生微波等离子体。

微波等离子体具有以下特点:

1、微波激发等离子体比较容易,能量的转化率高，,95%以上微波功率可以转化为等离子体能量;
2、由于微波等离子体是通过无极放电产生的,因此可以获得纯净的等离子体;
3、等离子体密度及电离度高;
4、微波等离子体激发的反应物基团活性很高；
5、微波等离子减少了高能离子对基体表面的损伤;

设备用途：
1、半导体芯片封装基材的清洗和芯片封装前的预处理
2、晶圆扫底膜、去胶、活化
3、MEMS制造中去除牺牲层
4、材料表面清洁、活化、改性

型号	NE-MW05
电源频率	2.45Ghz
等离子发生器功率	1000W
腔体材质	石英玻璃
腔体容积	5L
腔体尺寸（圆形）	Φ160×260（D）mm
有效处理范围	145（W）*260(D)mm
气体流量控制器	0-500 SCCM
气路数量	2路氧气、氩气等
外形尺寸	730mm(L)×584mm(W) ×382 mm(H)
电源供应	220V

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