小型等离子清洗机的设计原理

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2024-09-18

等离子清洗机可以实现对材料表面的清洁、活化、改性等处理，比如去除表面的污染物和有机物，在材料表面引入含氧极性基团以增加亲水性等。

小型等离子清洗机的设计原理

小型等离子清洗机是一种尺寸相对较小、适用于小规模处理或实验室环境的等离子清洗设备。小型等离子清洗机如图1-1所示,设备的主要结构由反应腔(又称真空腔)、真空系统、流量控制系统、真空测量系统、电源系统和控制系统组成。

小型等离子清洗机有很多种结构型式,根据电极在放电室的位置区分,可分为外电极和内电极;根据射频电源的耦合方式区分,可分为电容耦合和电感耦合,如图2-2所示。

图2-2 射频放电装置示意图

(a) 电容耦合; (b) 电感耦合

小型等离子清洗机各部分设计原理

反应腔由真空室、高频电极组成,是容纳待处理样品的场所,依不同的型号腔体有圆形和方形两种;

真空系统负责将反应腔内的空气抽净并在工作时维持适当的真空度;

流量控制系统负责调节工作期间所需要的真空度以及通入清洗的工艺气体;

真空测量系统用于检测背底真空度和工作真空度的数值;

电源系统为反应腔提供高频信号和能量,以激发反应腔内的反应气体电离形成所需要的等离子体。

控制系统的作用是按照最优的工艺参数和步骤控制设备的动作过程,并维持工艺参数的稳定。小型等离子清洗机的处理功率一般可以在50~300W之间调节。