真空等离子清洗机用的什么气体，怎么选择？

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2024-07-17

很多客户在购买真空等离子清洗机后，经常会问到的问题就是真空等离子清洗机该用什么气体来清洗效果最好，对于不同类型的气体而言，其清洗的作用机理以及应用范围都是不同的。下面纳恩科技小编就为大家解答一下这个问题，帮助客户在使用等离子清洗机的时候能够更加合理选用工艺气体。

真空等离子清洗可以选用多种混合气体，也可以是单一某种气体，在真空等离子清洗洗过程中，主要是利用一些非聚合性无机气体（Ar2、N2、H2、O2等）在高频低压下被激发，产生含有离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子。一般在真空等离子清洗机清洗过程中，可把工艺气体分为2类，一类为惰性非反应性气体的等离子体（如Ar2、He等）；另一类为反应性气体的等离子体（如O2、H2等）。

每种气体由于自身的不同属性，对污染物和清洗物质均有着不同的反应效果，下面是一些常见的气体在真空等离子清洗过程中的作用介绍

氧气：
氧气化学性质比较活泼，具有较强的氧化性，氧气等离子清洗主要用来清洗有机污染物，氧气等离子清洗，其作用机理是氧气在高频低压状态下，会被激发成由离子、激发态氧分子、自由基等多种活性粒子组成的等离子体，它们会与物体表面的油脂污垢发生反应，最终使得油脂分子被氧化成二氧化碳分子和水，从而将其从物体表面剥离去除。同时等离子体中的电子、离子也会对物体的表面进行撞击，大量的粒子撞击除了可以去除物体表面上附着的颗粒物质之外，还可以有效的激发化学反应的进行，促进油脂分子和等离子体的反应分解。

经过氧等离子体处理，还可以在材料表面发生化学反应，形成新的官能团，例如羟基、羧基等与表面自由基、形成交联结构层使得材料表面特性发生突变，进而获得新的化学结构。经氧等离子体处理后使得更多的含氧基团引入可以显著改善材料表面的亲水性能。

氩气和氦气
氩气与氦气都属于不活泼气体，是最常用的非反应性气体，其清洗方式属于一种物理清洗方式，利用高速粒子冲击进行物理清洗。通过物理撞击破坏基板分子键，提高表面微粗糙度，在材料表面产生大量的自由基。当He-Ar组成的潘宁气体混用时，大量结合的电子保持在激发状态，能够激发电离能较小的气体分子，产生潘宁效应(Penningeffect)，进而提高气氛中多种粒子的反应活性。

氢气：
氢气具有还原性，能够将金属杂质等进行还原处理，一般将其与氩气同时使用，能够保证更高的清洗效率和效果。

四氟化碳
四氟化碳是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体之一，主要应用于各种集成电路的等离子蚀刻和清洗工艺，和对材料表面进行疏水改性。

混合气体：
将不活泼气体与活泼气体进行组合，可以同时利用物理过程和化学反应实现多重清洗效果。比如清洗采用氩气与氢气混合气体，首先通过氩气冲击使物体表面结构活化，再通过氢气的还原作用清洗，可以增加粗糙程度，增强结合强度。

其他：
在等离子体官能化处理中，反应性气体(O2、NH3、N2、H2、CO2和H2O等)能够在放电气氛中产生大量的活性粒子(电子、离子、原子和亚稳态粒子等)，这些粒子拥有足够的能量，表现出强反应活性，可在材料表面发生反应，引入所需官能团。

以上就是国产等离子清洗机厂家纳恩科技，关于真空等离子清洗机用什么气体的一些解答，希望能对客户有所帮助，等离子清洗技术的工作介质是气体，因此本质上是一种干燥清洗方式，工作气体多为空气或者氧气、氦气等无毒气体，绿色环保且不会对被清洗物造成二次污染。