中频等离子清洗机是什么意思？
文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2024-04-01
等离子清洗机按照等离子发生器的激发频率不同大致上可分为，40KHz(中频等离子清洗机)、13.56MHz(射频等离子清洗机)和2.54GHz(微波等离子清洗机)三种。中频等离子清洗机，指的就是等离子发生器激发频率为40KHz的等离子清洗机。
等离子清洗机放电频率的不同，会对等离子体携带的能量、单位时间内产生的活性自由基和活性原子有着很大的影响，同时不同频率下的等离子体对改性材料表面作用也不相同。
等离子清洗机电源激励频率与离子密度、电源频率与等离子体自偏压之间及的大致关系：频率越高，等离子体离子密度越高；频率越高，自偏压越低。
中频：自偏压高，等离子体密度较低，离子能量高，容易产生较高的工艺温度和不必要的溅射；
射频：自偏压偏低，等离子密度较高，离子能量较高；
微波：无自偏压，离子浓度最高，能量最低，均匀性较差。
等离子体清洗类型对清洗效果具有一定的影响。中频等离子体发生的反应主要为物理反应,利用等离子轰击被清洁表面去除污染物,但同时会使表面产生一定损伤;射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应;微波等离子体发生的反应主要为化学反应,清洁力度较小。
等离子体物理清洗可使材料表面的粗糙度增加，有助于提高材料表面的附着力；等离子体化学清洗可以显著增加材料表面的含氧、含氮以及其他类型的活性基团，有助于改善材料的表面浸润性。
中频等离子清洗机因为离子能量高，适合用来对高分子材料表面改性，也被常用来做刻蚀。
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