等离子清洗机不锈钢腔体和石英腔体的区别及优缺点介绍

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2023-08-31

本文主要是关于等离子清洗机不锈钢腔体和石英腔体的优缺点的介绍，首先给大家讲解一下石英玻璃腔体等离子清洗机和不锈钢腔体等离子清洗机的区别

从等离子发生原理上来了解不锈钢腔体等离子清洗机和石英腔体等离子清洗机的区别和优势对比

市面上的不锈钢腔体等离子清洗机，大都采用电容耦合等离子体产生方式也就是平行平板式（CCP），这种设备的特点是，腔体内部有一块金属电极板用来放电产生等离子体。接入电源后，在射频场的作用下，气体中游离的电子会得到加速，与其他气体分子发生碰撞，电离出新的电子，当施加的电场足够强时，极板间的气体被击穿，进而形成稳定的放电，即产生等离子体。
优势：利用容性耦合放电的可以产生较大面积均匀的等离子体，且均匀性较为稳定

而石英玻璃腔体等离子清洗机是采用电感耦合等离子体产生方式（ICP），这种设备的特点是腔体内部无电极，靠给腔体外的线圈施加射频功率，空间中就会感应出轴向的时变磁场，磁场的变化又会进一步感应出环向的电流，电子在电场作用下形成射频电流，从而维持等离子体放电。
优势：ICP的主要优点为等离子体密度高、解离率高,能够在相当大的压力范围上保持高密度等离子体。

从材质上来比较不锈钢腔体和石英腔体的优缺点

对于石英玻璃腔体而言，是比较适用于高校科研的小型腔体实验，这种材质的腔体优点在于石英玻璃腔体相较于别的金属材质的腔体洁净度更好，也方便清洁。

石英材质是非常洁净的一种腔体，因为是纯的单晶体，该类型的腔体几乎不会产生任何杂质，非常适用于晶圆等洁净要求度高的样品。但是因为石英腔体是比较脆的，想做成大腔体是不太好实现的。

不锈钢腔体它具有优异的抗热裂性能，又具有很强的抗腐蚀性能，在高温腐蚀环境中不产生污染物，又有良好的可焊性，是制造等离子处理设备真空室的良好材料。因为是金属材质，更适合大的样品做处理，大型的生产型工艺基本都是选择不锈钢腔体或者铝腔体。铝制腔体相对来说更受欢迎，不仅因为其成本略低，而且可以根据用户的产量定制较为大型的容量腔体。

该如何选择不锈钢腔体和石英玻璃腔体等离子清洗机

石英玻璃反应仓的选择，取决于等离子清洗的应用及样品材质，很多客户采用的是不锈钢反应腔体来处理材料，他们对于清洗样品表面没有任何问题，如果客户在等离子体处理时，需要洁净的环境，或者清洗光学元件的时候，建议采用石英玻璃反应腔体，主要担心的是不锈钢腔体中的微量元素，可能会成为在等离子处理时，样品表面的污染源，特别是光学表面，这些污染物极大的改变了，样品的光学性质，同理我们推荐使用石英玻璃反应仓，如果使用氟化气体如四氟化碳（CF4），该处理气体会与二氧化硅发生刻蚀反应，石英玻璃腔体可能会被更快刻蚀掉。因此如果使用腐蚀性气体的话推荐使用不锈钢腔体。