Nordson March AP600等离子清洗机产品介绍

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2023-06-12

Nordson-March是一家领先的高科技公司，专注于为全球电子、医疗、航空航天和国防行业提供革命性的等离子技术解决方案。其中，AP600是Nordson-March公司生产的一款高效的等离子清洗机，下面介绍一下它的特点和优势。

AP600等离子清洗机是美国Nordson-March公司生产的仪器，如图1.1（a）所示。AP600主要进行等离子体清洗、材料表面活化及改进材料表面的附着力的功能，应用于半导体制造、微电子封装和生命科学设备等方面。它由13.56MHz射频电源发生器、电子控制系统、自动匹配系统和等离子体放电腔体四部分构成。外接真空泵系统可通入不同气体，例如氩气、氧气、及氟化气体等。放电腔体的两侧壁有7个可调节极板间距的支架可用于放置极板，相邻两个支架之间的间距为2.54cm（1inch）。其中正极板的尺寸为330mm*330mm，负极板与放电腔体的侧壁相接触，其尺寸为368mm*340mm。

Nordson March AP600等离子清洗机

同时AP600等离子清洗机放电参数的设定可以直接在操作面板上操作，包括放电功率、气压、流量、放电时间的设定，而且放电腔体内的反射功率也会在面板上显示，可以直观地反映放电腔体内放电状况是否正常。若反射功率为零时，说明与射频电源能很好的匹配；若反射功率超过10则需要调节匹配电容，以保证腔体内等离子体的正常放电。

AP600等离子清洗机具有以下优点：
1.高效清洗能力。AP600等离子清洗机通过低温、低压等离子技术，能够去除各种杂质和污垢，使清洗效果更加彻底，在完成去污的同时可以提高产品表面亲水型。
2.适用性广泛。AP600等离子清洗机对清洗材料性质没有要求，无论是金属还是非金属都能处理。可以灵活应对不同材料和清洗要求。
3.精确的控制系统。AP600清洗机采用先进的PLC控制系统和触摸屏界面，能够实现精确控制和监控清洗过程，保障清洗质量和安全性。
4. 节能环保。该清洗机采用低温、低压等离子技术，不会产生有害气体和废水，同时也能够节约能源和成本，符合环保需求。
5. AP600采用容性耦合等离子体（CCP）产生方式，具有放电空间大、等离子体产生均匀、可控性强等优点。

AP600等离子清洗机常见应用举例 :
1. 清洗：去除纳米级的残留物；加强打线键合前的粘着性。
2. 灭菌处理：去除表面残留微生物。
3. 表面改性：在材料表面产生官能分子。
4. 活化：渲染表面的亲水性或疏水性；键合和沉积前的表面预处理。
5. 聚合处理：沉积带官能分子团的聚合物；等离子活化表面；移植聚合物到活化后的材料表面。