透射电镜样品等离子清洗机

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2023-04-10

透射电镜作为当今物理及材料科学重要的表征及分析手段，可在纳米级分辨率下获取材料的形貌结构以及元素分布等信息。

透射电镜对样品质量要求极为苛刻，最基本的便是厚度要在100nm及以下以使高能电子束穿透样品，因此透射电镜样品的制备在整个实验中也起着决定性的作用。为保证样品的清洁度，在放入透射电镜前还需要进行等离子清洗。

等离子清洗机

等离子体指气体放电产生的电子、离子、自由基、激发态离子等具有较高活性的物质，其整体为电中性。根据热力平衡状态，等离子体可被分为平衡态与非平衡态。在等离子体体系内，离子温度与电子温度几乎相等时，该体系温度可达上万度，处于热力平衡状态，因此，此时的等离子体被称为平衡态等离子体或高温等离子体；而对于非平衡态等离子体，其体系内离子温度远小于电子温度（104K），仅为300K～500K，体系宏观温度低，因此又被称为低温等离子体（Non-thermalPlasma，NTP）。由于NTP温度较低，便于在常温下与其他物质反应，从而使得NTP在清洗污染物、材料改性等方面得到了广泛的应用。

等离子清洗机是低温等离子体技术的一种应用，该技术为干式清洗设备，可对金属、塑料、玻璃等材料进行除油、清洗、活化等处理，具有工艺流程短，费用低等特点，并且具有不产生对环境有害物质的优点。同时由于等离子清洗中兼具物理作用与化学作用两方面的清洗效果，使得等离子清洗在污染物去除具有更广泛地适用性。对氧气参与的等离子清洗，其化学反应主要是有机物与氧自由基发生反应生成较小的气体分子被泵抽走。

透射电镜对样品的清洁度也有着极高要求，尤其是在STEM模式下，清洁度差的样品容易积碳，从而无法观察样品并同时对电镜造成污染。因此制备好的透射电镜样品在送入透射电镜之前，还需要进一步的清洁，也就是等离子清洗。等离子清洗机主要用于清洗透射电镜样品表面的碳氢化合物，不改变样品本身的化学组成和结构特征，也不损伤样品表面，可以防止表面积碳的产生。