真空等离子清洗机设备报警原因分析及其解决办法

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-09-27

真空等离子清洗机作为一种绿色无污染的高精密干法清洗设备，可以有效去除表面污染物，该设备具有清洗快速、安全环保、低温经济、操作简单等优势，广泛应用于刻蚀、表面活化、材料改性、表面清洗等领域。现将我司真空等离子清洗机系列设备多年来运行中的常见报警故障和典型案例进行汇总分析，并将报警现象、维修过程和故障总结进行简要陈述，以便于广大用户遇到类似或者相同故障进行借鉴参考。

1、真空等离子清洗机显示气体压力过低,工作气体耗尽报警
出现这种故障时，可能是气体未开启或气体已耗尽，需要检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无出现断路或短路的现象。

2、真空泵倒计时时间故障
当遇到此类故障时需要先检查真空泵抽真空能力，故障排除后再点击复位键，出现渗气或真空门未关到位都会影响真空泵抽真空能力。除了这些外还需要逐级检查等离子真空处理系统中的各连接点，看是否有管道连接不良或损坏的情形。

3、压缩空气压力低于设定值报警
此报警也叫破空气体压力过低报警，是因为压缩空气的气压不足导致的，主要出现于配有高真空气动挡板阀的真空等离子清洗机，出现此报警时需检查CDA是否正常供气到设备端。确认供气压力有无过高或过低，还要看减压表的报警值设定是否正确，处理这些之外还要再对电气线路进行检查。

4、真空计故障报警
真空计故障报警最可能的原因就是由于真空计损坏造成的，这时需要我们检查真空计的控制线路是否有断路和短路的情况。

5、真空等离子清洗机的急停未复位或已按下报警
此时需检查急停是否被按下，若是未出现这类情况，就要检查急停线路。

6、RF匹配异常报警
调节射频等离子体的入射功率和反射功率,使发生器与等离子体阻抗相匹配

7、反应仓泄露率过大报警
检查真空腔体的气密性，看是否有哪里漏气，检查各连接处的漏率，对于泄漏点的处理方法主要是对密封件进行定期检查并及时更换，这样就避免了由于密封件老化等原因引起的高真空抽不到预设值的情况。

8、真空等离子清洗机的真空泵过载保护
当真空等离子清洗机出现报警情况时，其中有一种可能就是真空泵过载保护，在发生此类情况时，需要先检查系统参数有没有变化，因为在这种情况下，设备会中止供电，系统的各参数会归零，于是才会响起警报声，如果经过检查后系统参数并没有发生变化，就需要确认热继电器是否自动保护，按复位键后启动真空等离子处理系统的真空发生系统。如无自动保护，就需要检查电气线路是否有断路或短路情况。若是以上均无异常情况，就再检查真空泵情况。

以上是真空等离子清洗机常见报警原因分析和解决方案的汇总分析。最后需要强调的是平时还应该加强培训操作使用人员，所有操作者必须掌握该设备的操作方法、性能、注意事项、维护保养，所有人员严格按照操作规程使用设备，所有操作者能知晓该设备的各种报警信息和如何处理故障。定期做真空漏率测试，以保证较好的高真空度，定期清洗反应腔室，尤其是上电极以及气体喷淋孔。