真空等离子清洗机（设备）的维护保养

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-04-18

在等离子清洗机在使用中，会遇到清洗达不到要求、设备本身故障率异常等问题。如何保证等离子清洗机在生产中能够达到工艺要求，同时保证设备的正常稳定运行，等离子清洗设备的维护保养至关重要。

在实际生产中，我们发现等离子清洗机一些重要的部件会随着使用时间的推移产生不同程度的氧化、老化、腐蚀等问题，会是引起等离子清洗设备达不到清洗效果的原因，例如反应腔、电极、托盘架、气体的压力等。以下介绍了几个关键部位保养前后的效果以及如何进行保养。

等离子清洗机的维护保养

在保养和维修的过程中，一方面，要做好日常检查，考虑到等离子清洗机靠电力掣动，因此，必须加强对电气安全性的检查，重点查看线路是否存在破损和老化的情况。检查电箱内继电器在闭合或断开时是否有打火花。

另一方面等离子清洗机在运行的过程中部分构件受各种因素影响，在开展预防性基本规程时，首先，相关操作人员要做好设备的清洁管理工作。

等离子反应腔体清洁

等离子清洗时产生的污物大部分都接近电子级别，会随着真空泵排除。但也会有一些大颗粒污染物产生。这些大颗粒污物会附着在腔壁、电极和托盘架上。腔壁上有一层薄薄的“灰”，腔底掉落更严重。
对于腔壁用不可掉落的毛刷清洁使颗粒粉尘异物在腔壁脱落，用吸尘机将污物吸出。用脱脂布沾酒精擦拭

电极与托盘架的保养翻新

托板架和电极长时间使用后会附着氧化层，同时采用等离子体处理烃基材料时，一段时间后在托板架、电极，上会积累一层薄的烃基残留物，这些残留物和氧化层是无法用酒精擦拭掉的。应依据附着物的量对电极、托板架进行翻新维护能保证清洗的稳定。

清洗材料要求：氢氧化钠、硫酸、城市用水和蒸馏水。注意：不要使用手磨机、砂纸或磨蚀性喷砂处理等机械方法清洁；氢氧化钠溶液会与铝发生剧烈的化学反应，应小心谨慎以确保仅在所需的时间内清除沉积物；反应中会生成具有潜在爆炸性的氢气，因此工作区域应保持良好的通风。

电极的清洁翻新步骤
（1）切断电源并取下接地电极。（留意每个电极的初始位置，使它们在被清洁后能够安装在原来相同的位置上）；
（2）在室温下将拆下的电极沉浸在10%的氢氧化钠溶液内。在沉浸时每2min检查电极一次，直到彻底除去残留物。实际清洁时间取决于积累在每个电极上的残留物数量。
（3）用城市用水彻底冲洗电极3分钟。
（4）将电极浸在硫酸和水（按重量为5%）的溶液中一分钟（不能干燥）后，立即进入下一步操作（这一步主要去除氧化层，干燥以后氧化层会再次附着，难以冲洗）。
（5）用蒸馏水冲洗电极两次，每次3min。
（6）使电极彻底干燥。
（7）将电极安装在与原先的位置，如必要，更换绝缘体。

配件和软管检查

检查配件是否松动，检查软管是否磨损或破裂。

真空泵油过滤器

检查机油滤清器，如果脏了或被油堵塞，请更换。

真空检查

检查腔室压力并记录值，如果压力比前一天变化超过5%，调查泄漏。

气压检查

检查反应气体的气压，在0.1~0.2MBa之间。
检查压缩空气的气压，在0.5~0.8MBa之间。

射频等离子发生器

定期检查设备背面是否有灰尘或腐蚀，吸出任何灰尘、污垢、污染物。如果发现腐蚀，清洁该区域并检查是否有泄漏。

如果不对等离子清洗机的日常维护工作予以重视，对可能出现故障的部位予以维护，就会导致设备的故障发生概率增加，设备寿命缩短。因此，为了保障等离子清洗机始终处于最佳的状态下，发挥出最大的清洗功效，使用单位需要对等离子清洗机进行定期、不定期的检修，对重要设备结构进行定期维护，降低构件的日常损耗，及时更新损耗配件，确保破损构建不会损坏其他零部件，降低故障发生的风险，保障施工项目能够顺利进行。另一方面，还要加强度日常养护维修工作的记录档案管理。通过更精细的建档工作，保证相关技术操作人员能够及时调取设备相关信息，确保日常预防性养护和维修工作的时效性，保证常规运行的可靠性、精确性和稳定性，延长等离子清洗机的使用寿命。