大气常压直接等离子清洗与远程等离子清洗

常压大气直接等离子清洗(direct plasma)与远程等离子清洗(remote plasma)最大的差别在于前者电极构造设计成电场外漏，等离子体放电时，解离反应可以延续至喷头外，甚至把试片作为电极的一部分，因此直接型等离子体的等离子效率较高，但由于电场外漏，极容易对导电试片造成电弧击伤或静电击伤问题