真空等离子清洗机清洗工作流程及其示意图

真空等离子清洗机清洗工作流程简单来说就是在压力到达设定本底压力时,充入工艺气体,当腔内压力进出动态平衡时,利用等离子电源产生的中高频交变电磁场激发生成等离子体,对被清洗工件表面进行物理轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质,经过抽真空排出,而达到清洗目的。