电浆清洗机工作原理介绍

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-07-25

在20世纪初期，Langmuir等人开始进行电浆现象的研究，并在1929年以“电浆(plasma)”一词用来叙述离子化气体的现象。随著科技日益发展，真空电浆清洗机开始大量应用在产业界上，如低压电浆清洗技术等，现今已经成为半导体产业中不可或缺的重要角色。

电浆

电浆态(plasma)是人类继固、液、气三态之外发现的物质第四态，主要是藉由气体在高电磁场下离子化后，形成一个包括电子(带负电荷)、正离子(偶有负离子)、活性自由基与中性气体分子所组成的高活性气体团，通常会自行发光。在正常状况下，电浆中的正电荷总数约略等于负电荷总数，而具有近似电中性(Quasi-neutral)的特性，故科学家又称之为“等离子体”。常见的电浆现象包括：太阳、闪电、极光、日光灯及霓虹灯等。电浆反应过程相当複杂，且电浆中粒子的种类繁多，其中包括了电子、离子、分子、自由基及中性物种等，涵盖了物理及化学反应，就基本的反应来看包含了以下七种反应。

1. 离子化(Ionization):
e-+A→A++2e-(Electron-impactionization)
hν+A→A++e-(Photoionization)

2. 再结合(Recombination):
正负电荷中和，并释放出能量。
e-+A+→A (Electron-ionrecombination)
e-+A+→A+hν (Radiativerecombination)
A++B-→AB (Ion-ionrecombination)
e-+M+A+→A+M (3bodycollision,Mcanbeagasatomorthechamberwall)

3.附著反应(Attachment):
电子附著于中性分子而成为负离子，通常为负电性较高的分子才会发生。
e-+A→A+ (Attachment)

4.激发反应(Excitation):
中性物种吸收能量，能阶由基态上升至激发态，而激发现象依其能阶差由低至高有转动(Rotational)、震动(Vibrational)及电子(Electronic)激发三种。
e-+A→e-+Aγ (Rotationalexcitation)
e-+A→e-+Aν (Vibrationalexcitation)
e-+A→e-+A★ (Vibrationalexcitation)

5.解离反应(Dissociation):
电子将分子中的键结打断，形成自由基。
A*+BC→A+B+C (Penningdissociation)
e-+AB→A+B+e (Electron-impactdissociation)
e-+AB→2e-+A++B (Dissociativeionization)

6.分子分解游离(Dissociativeionization):
e-+AB→A+B*+e-

7.分子分解附著(Dissociativeattachment):
e-+A2→A-+A++e-

电浆清洗机工作原理如下：

电浆清洗机，其主要工作原理是与材料表面产生两种反应，一种是等离子体中的自由激活性粒子与材料表面的污染物发生化学反应产生新的物理，从而达到清洗的效果，气体的压力越大，被电离的自由粒子数量就越多，所发生的化学反应的效率就越高。一种是正离子和电子与材料表面的物理作用，利用等离子体中正离子和电子与材料表面的碰撞作用，将能量传递给表面的污染物原子，碰撞几率与分子的平均自由程成正比，所以要想获得更大的碰撞几率需要降低气体的压强，这与第一种化学反应是相反的，因此在实际应用过程中需要考虑到这两个方面的影响因素。

真空电浆清洗机结构示意图

以上就是国产等离子清洗机厂家纳恩科技关于电浆清洗机工作原理的简单介绍，电浆为一部份解离的气体，电子在电场中获得能量后撞击气体分子后产生气体解离；同时激发部份分子或原子产生高能粒子如氧原子、高能氮分子/氧分子等。这些高能量粒子具有很强的化学活性，在接触到污染物表面时立刻与污染物反应成挥发性气体达到清洁的目的。