等离子清洗技术和激光清洗技术及其区别

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2022-04-22

工业和高新技术的发展，物理清洗技术以其操作简单、无毒害或污染小、无腐蚀等特点，渐渐地成为了现代工业清洗技术的主流，并逐步开始取代传统化学清洗技术。物理清洗技术是利用声、光、电、热、力、物理射线等的物理作用，并施加于污垢处以破坏清除污垢，达到清洗效果的清洗技术。常用先进清洗技术有高压水射流清洗技术、激光清洗技术、等离子清洗技术、超声波清洗技术、干冰清洗技术等。工业清洗技术的应用和发展中，物理清洗技术因其优势在工业清洗中占据了重要的地位。

等离子清洗技术

等离子体清洗技术是一种新型的表面清洗技术，也是一种“绿色”的清洗技术。它在清洗过程中不需要化学试剂和清洗液的使用，因此也就避免了清洗过程中因清洗液的排放等造成对环境的污染。

等离子清洗技术是利用等离子体内的高能粒子的活化作用，使得工件表面的待清洗层上的有机物、氧化物等污垢以及各种粒子发生一系列的物理化学反应，从而从清洗表面脱落或蒸发，从而达到清洗的作用。同时在合理的清洗工艺参数下，等离子清洗还会使得清洗表面的形态发生物理化学变化，并且也为表面引入一系列的自由基团，从而改善了被清洗表面的极性和亲水性等特性。由于离子与工件的碰撞，使得该种清洗技术的去除效率为原子级别。该种清洗技术可用于工件的超精密清洗。

离子清洗技术的最大特点是适用于各种基材类型的清洗，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。除此之外，等离子清洗还具有以下几个特点：①容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；②正确的等离子清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；③由于是在真空中进行，所以等离子体中的各种活性离子的自由程很长，他们的穿透和渗透能力很强，可以进行复杂结构的处理，包括夹层、细管和盲孔；④等离子体作用过程是气—固相干式反应，不消耗水资源、无需添加化学试剂，对环境无残留物，具有绿色环保特征。因此，采用等离子清洗技术可以克服传统方法中的缺陷，使清洗更符合环保原则。并且经过等离子清洗的产品材料还会发生性质的改变，比如亲水性，粘接性能等。

激光清洗技术

激光清洗技术同等离子清洗技术一样，属于干法清洗的范畴。它是利用高能激光束对工件待清洗表面进行照射，使得清洗层的颗粒、污物以及油漆等表面污染物那件发生蒸发或从表面脱离，从而达到对工件表面进行洁净处理的目的。和传统的清洗工艺相比，激光清洗技术适用的污染物中种类和适用范围更加的广泛.但由于在进行清洗的过程中，激光清洗技术因激光光束的聚焦、传输和导入以及激光能量的吸收和转换问题以及使用成本等问题使得激光清洗技术的推广受到了限制。因而目前激光清洗技术主要用于微电子行业中，以及精密光学元件表面颗粒的清洗等领域。

与传统清洗方法相比，激光清洗的优点主要集中在：（1）清洗参数可调，可实现精准清洗且清洗范围广泛；（2）清洗对基材的损伤小，保证清洗后基材性能不变；（3）“绿色”清洗方式对环境污染较小；（4）清洗效率高，成本低更易实现自动化。激光清洗技术的众多优势使其更适应今天的清洗行业发展，所具有的巨大潜力，必然会取代传统清洗方式。

激光清洗技术激光清洗技术同等离子清洗技术一样，属于干法清洗的范畴。等离子清洗是一种比脉冲激光清洗或离子轰击温和得多的清洗技术。等离子体中的能量为eV的离子在撞击电极表面时不会使材料溅射和再沉积。