ITO阳极等离子处理

文章出处：等离子清洗机厂家 | 深圳纳恩科技有限公司| 发表时间：2024-09-09

有机发光二极管(OLED)已经成为新一代的平板显示技术。它具有主动发光、驱动电压低、响应速度快，柔性可弯曲，超轻，超薄等优点。0LED器件一般为多层结构，其中包括阴极、阳极、电子传输层、空穴传输层和发光层。ITO同时具有透光性高、电阻率低等优点，因此大多数的0LED器件均使用ITO作为阳极。

随着具有优异性能的有机材料的开发，有机电致发光器件得到了迅速的发展，并已在显示器应用中实现工业化。然而，器件的效率和稳定性仍需要得到改善，这些都与电荷的传输能力和电极的界面修饰有关。载体的注入效率直接决定了器件的发光特性，因此通过电极修饰提高载体注入效率是一个研究热点。目前IT0阳极修饰主要有等离子体处理、UV紫外光处理、分子自组装以及引入缓冲层等方法。其中,氧等离子处理是最简单最易操作的方法，本文对0LED器件中IT0阳极修饰的等离子处理方法和原理进行了介绍。

(1)等离子体处理

等离子体处理包括氧等离子体处理、CF,H等离子体处理、氩等离子体处理、氮等离子体处理等。其中氧等离子体处理目前是最常用也是最简单有效的方法，其具体方法将气引入到电感耦合或者电容耦合产生的射频能量场中，通过氧气电离而导致等离子体的产生，提高IT0表面原子的含量。氧等离子体的组成相对复杂，包括未被离子化的氧原子、氧分子和电离产生的氧离子以及混合的复合基团，可以很容易地与其他原子反应形成新的价键或改变其他原子的键能。IT0的化学组成元素是氧、铟、锡，被氧等离子气包围的IT0，其表面的铟和锡会与氧离子形成新的价键改变原始键能，并改善IT0的表面功函数。另外，氧等离子体的活性基团还可以分解和除去IT0表面上的有机污染物等杂质。

Ar、N2等离子处理的原理是通过去除阳极ITO 表面所吸附的氧来达到清洁和提高的目的。

另一种比较常用的方法是CFH等离子体处理，该方法是将三氟甲烷气体引入低频能场中产生等离子体，进而在IT0的表面上进行聚合反应以形成氟取代的碳聚合物膜CF。形成的膜CF膜有着低电阻率和高离解能的特性，不仅能防止铟原子从ITO中扩散到活性有机层，还能够修饰IT0表面以提高空穴的注入效率。

本文由等离子清洗机厂家纳恩科技整理编辑，利用等离子处理ITO阳极具有显著的优点，成本低、无废弃物、无污染，并且有时可得到传统的物理和化学方法难以得到的处理效果。，从而达到清洁和提高的目的。