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等离子诊断

等离子体诊断指的是通过光、电、磁等各种手段，对等离子体中的各种物理、化学过程进行监测与分析。等离子体诊断使人们对等离子体的理解更加深入，从而更好地控制并应用等离子体。

根据是否与等离子体接触，等离子体诊断可分为侵入式与非侵入式两种。根据测量对象的不同，可分为电学、光学、粒子诊断等。电学诊断中静电探针是最为常见的诊断方法。发射光谱(OES)是一种非侵入性的诊断方法，非常适合等离子体的原位诊断。等离子体质谱技术也可以用于粒子种类与能量的分析。随着等离子体诊断技术的不断发展，各种新型诊断手段得到相继应用，如Thomson散射、激光诱导荧光(LIF)等山。不同的诊断手段表征等离子体的不同特性。在低温低气压放电等离子体中，静电探针与OES是两种广泛使用的方法。